半导体材料车间无尘起重机

该无尘起重机是满足新生产工艺的具备自动、洁净、防爆功能的起重机。使用环境为半导体材料车间，无尘化设计，空气清洁度等级为4级(国标7级)(即每立方米内0.1um大小的颗粒物不大于10000个)。同时该车间内存在易燃易爆气体，起重机防爆等级dllCT4。该起重机采用中控室计算机自动控制，可将还原炉和硅棒工具从还原炉平台、清洗平台、中转平台、拆棒工具等位置之间根据设定工作路线自动运行。

洁净室起重机采用轻量化、免维护设计，同时大量应用防静电、耐磨耐腐蚀材料，车轮采用不锈钢材料，轨道两侧设不锈钢槽，减速器采用全封闭、高密封绝无渗漏油污染，高防护等级。该起重机是满足新生产工艺的具备自动、洁净、防爆功能的起重机。使用环境为半导体材料车间，无尘化设计，空气清洁度等级为4级(国标7级)（即每立方米内0.1μm大小的颗粒物不大于10000个）。同时该车间内存在易燃易爆气体，起重机防爆等级dIICT4。
该起重机采用中控室计算机自动控制，可将还原炉和硅棒工具从还原炉平台、清洗平台、中转平台、拆棒工具等位置之间根据设定工作路线自动运行。起重机采用轻量化、免维护设计，同时大量应用防静电、耐磨耐腐蚀材料，车轮采用不锈钢材料，轨道两侧设不锈钢槽，减速器采用全封闭、高密封绝无渗漏油污染，高防护等级无风扇防爆电机，双密封制动器能有效防止电机内因传动磨损产生污染颗粒外泄。大车车轮组全封闭设计，不锈钢车轮，表面高防锈处理的其他零部件可以有效防止金属材料锈蚀污染，自润滑全密封轴承避免润滑污染。大、小车运行机构采用激光条码定位，小车激光条码定位阅读器安装在小车上，条码带安装在大车主梁腹板上。大车定位激光定位阅读器安装在端梁上，条码带安装在收集粉屑的U型槽上。